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半導体向け製品・サービス

製品の種類

高温炉用熱電対

主にSiC保護管で構成されている熱電対です。拡散炉やCVD炉で使用されています。

L型石英保護管型熱電対

主に石英保護管で構成されている熱電対です。拡散炉やCVD炉で使用されています。

スパイク熱電対

拡散炉やCVD炉のヒーター制御に使用されています。

品質への取り組み

クリーンルーム

Class5000の環境下で部品保管から製品製造まで一貫して行っております。

熱電対校正装置

精密な温度測定のために、スタンダードとの熱起電力誤差を測定する装置です。

フルヤ金属の強み

当社はPGM材料を原料から取り扱う加工メーカーです。その強みを活かし、熱電対製品においても素線加工から製品の組立、さらにはお客様がご使用された後の熱電対素線リサイクルまでを手掛けております。リサイクル後の熱電対は精製してお客様の元へ。貴重な資源を最大限に活かし、お客様のご要望にお応えいたします。
また、半導体分野で使用される高純度な石英製品の製造についても自社千歳工場で対応しております。

2005年、株式会社日立国際電気様より「CERTIFIED APPROVED SUPPLIER for Thermo-couple Recast」に認定されました。

千歳工場

千歳工場では、主に半導体分野向けの熱電対に使用する高純度石英保護管の製造を行っています。クリーンルームを完備し、半導体分野で要求されるスペックに対応した製品を提供いたします。また、保護管以外にも石英加工、修理にも対応しております。
当社では素線材料から石英部品の加工、組立まで一貫した製造を行い、品質の高い製品作りを行っております。

千歳工場の特徴

千歳工場では熟練の技術者が図面による指示に基づいた石英保護管の製作を行います。部品加工工程では材料のカットや研磨など、石英保護管の一次加工を行います。

火加工工程では曲げ加工や寸法の調整、石英保護管の先端封じ、パーツの溶接などを行います。石英ノズルのバーナーを使用することで不純物の混入をなくし、純度の高い石英製品を生産します。

大型炉を使用し、石英保護管全体を炉の中に収めてアニール処理を行うことでより歪みなどの欠陥が少ない製品を生産することができます。

石英保護管サンプル

千歳工場の洗浄工程には保護管を丸ごと洗浄できる洗浄槽を保有しております。新品製品と修理品の洗浄槽を分け洗浄管理しております。

千歳工場で製造した石英保護管はクラス5000管理下の環境にて検査・乾燥・梱包をしております。

CONTACT

お問い合わせ

こんな内容もお気軽にお問い合わせください

  • 受託成膜ではどれくらいのウエハサイズまで成膜可能ですか?
    また、何℃までアニールできますか?
  • 使用済みのビート皿があります。
    リサイクルして新しい製品を製造できますか?
  • 硝酸Ruの価格と最近の地金相場が知りたいです。
03-5977-3388

平日9時~17時まで受付中