日本語

粉末スパッタ装置

特徴

ドライ環境下において、金属・セラミックスなどの様々な材料を微粉末上にナノレベルでコートする技術です。

材料探索に最適

電池、触媒、粉末冶金、塗料、電子部品、化粧品など様々な業界で材料探索に活用されます。

コスパッタ成膜

2元・3元でのコスパッタによる成膜が可能です。

保有ターゲット

Ir, Ru, Pt, Au, Ag, APC, Pd, Rh
Al, Si, Ti, Cr, Mn, Fe, Ni, Cu, Zn, Zr, Nb, Mo, In, W
各種Li酸化物, Al2O3, SiO2, TiN, ZrO2(YSZ), Ta2O5, Nb2O5

CONTACT

お問い合わせ

こんな内容もお気軽にお問い合わせください

  • 受託成膜ではどれくらいのウエハサイズまで成膜可能ですか?
    また、何℃までアニールできますか?
  • 使用済みのビート皿があります。
    リサイクルして新しい製品を製造できますか?
  • 硝酸Ruの価格と最近の地金相場が知りたいです。
03-5977-3388

平日9時~17時まで受付中