半導体向け製品・サービス

製品の種類

高温炉用熱電対

主にSiC保護管で構成されている熱電対です。拡散炉やCVD炉で使用されています。

L型石英保護管型熱電対

主に石英保護管で構成されている熱電対です。拡散炉やCVD炉で使用されています。

スパイク熱電対

拡散炉やCVD炉のヒーター制御に使用されています。

品質への取り組み

クリーンルーム

Class5000の環境下で部品保管から製品製造まで一貫して行っております。

熱電対校正装置

精密な温度測定のために、スタンダードとの熱起電力誤差を測定する装置です。

フルヤ金属の強み

当社はPGM材料を原料から取り扱う加工メーカーです。その強みを活かし、熱電対製品においても素線加工から製品の組立、さらにはお客様がご使用された後の熱電対素線リサイクルまでを手掛けております。リサイクル後の熱電対は精製してお客様の元へ。貴重な資源を最大限に活かし、お客様のご要望にお応えいたします。
また、半導体分野で使用される高純度な石英製品の製造についても自社千歳工場で対応しております。

2005年、株式会社日立国際電気様より「CERTIFIED APPROVED SUPPLIER for Thermo-couple Recast」に認定されました。

千歳工場

千歳工場では、主に半導体分野向けの熱電対に使用する高純度石英保護管の製造を行っています。クリーンルームを完備し、半導体分野で要求されるスペックに対応した製品を提供いたします。また、保護管以外にも石英加工、修理にも対応しております。
当社では素線材料から石英部品の加工、組立まで一貫した製造を行い、品質の高い製品作りを行っております。