イリジウムルツボ
プラズマ溶解法にてIr原料を溶解することで高純度かつ無欠陥の材料を製造することができます。また、熱間における鍛造、圧延により、高密度な板材からルツボを製造しております。
特徴
型・溶接加工も可能
熟練された作業スタッフにより難易度の高い加工も可能です。
検査により高い品質を保持
X線による非破壊検査を実施し内部欠陥がないことを確認しております。
様々な加工品にも対応
ルツボ以外にもアフターヒーター、リフレクター、ダイなど、単結晶育成に必要なIr器具のご用意も可能です。ご用途に合わせ強化Ir製品もご用意しております。
用例
イリジウムルツボを使用して育成される代表的な単結晶として、スマートフォンのノイズフィルター基板で使用されるLT(リチウムタンタレート)やLED基板で使用されるサファイア、医療用PET装置等で使用されるシンチレータ、次世代パワーデバイス材料である酸化ガリウム(Ga2O3)が挙げられます。当社のイリジウムルツボは、CZ(Czochralski)法の他、マイクロ引き下げ(μ-PD)法、EFG(Edge-defined Film-fed Growth)法など、幅広い育成手法で使用されています。
イリジウムルツボ以外の加工品例
イリジウム シードホルダー
ルツボと同様にプラズマ溶解法にて溶解された高純度かつ無欠陥の材料から製作し、種結晶に合わせたシード固定部の加工や、回転軸側に合わせた加工も可能です。
固定用ピンもIrにて製作しており、サイズも種結晶やホルダーの加工に合わせ自由に設計いただけます。
Ptルツボ
その他、白金ルツボや白金器具も取り扱っております。
CONTACT
お問い合わせこんな内容もお気軽にお問い合わせください
- 受託成膜ではどれくらいのウエハサイズまで成膜可能ですか?
また、何℃までアニールできますか? - 使用済みのビート皿があります。
リサイクルして新しい製品を製造できますか? - 硝酸Ruの価格と最近の地金相場が知りたいです。
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